ヤナセ　タカシ   Yanase Takashi   柳瀨　隆    所属   東邦大学  理学部 化学科    職種   講師
言語種別
発表タイトル	新規硝酸酸化法による低リーク電流をもつ～7nmSiO₂/Si 構造の低温形成
会議名	応用物理学会
学会区分	国際学会
発表形式	口頭
講演区分	一般
発表者・共同発表者	柳瀬 隆
発表年月日	2009/03