ハセガワ マサトシ
Hasegawa Masatoshi
長谷川 匡俊
所属
東邦大学 理学部 化学科
職種
教授
研究期間
2001/04～2002/03
研究課題
次世代ＬＳＩ層間絶縁膜用低誘電率・低熱膨張ポリイミド樹脂の開発
研究委託元等の名称
双葉電子記念財団
キーワード
ポリイミド、低誘電率、低線熱膨張係数、層間絶縁膜
代表分担区分
研究代表者